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ID 56131
タイトル(別表記)
Periodical structure of vortices in a semiconductor single wafer spin cleaner
フルテキストURL
著者
河内 俊憲 岡山大学大学院 自然科学研究科
福田 修也 岡山大学大学院 自然科学研究科
中野 裕介 岡山大学大学院 自然科学研究科
清水 義也 岡山大学大学院 自然科学研究科
永田 靖典 岡山大学大学院 自然科学研究科
柳瀬 眞一郎 岡山大学大学院 自然科学研究科
抄録
We experimentally and numerically investigated large-scale structures formed by vortices in a single wafer spin cleaner. The Q-criterion identified the vortices developed in the cleaner as the flow regions with positive second invariant of the velocity gradient tensor obtained by both the PIV and LES. The time-series two-components PIV data shows that small-vortices were clustered near and under the edge of the rotating disk and were periodically emanated from there to the housing wall of the cleaner. The emanation frequency was increased with increasing in the angular velocity of the rotating disk. Three-dimensional LES reveal that six longitudinal vortices were spirally developed from under the edge of the rotating disk to the housing wall. This structure stably rotated slower than the disk speed. Fourier analysis of the LES data agreed with that of the PIV data. This supports that the passages of the stable spiral vortices on the PIV measurement region resulted in the periodical emanation of the clustered small-vortices observed in the PIV. Such a very large-scale spiral structure will induce reattachment of contaminants on the wafer surface, and should be destructed for development of much higher efficient cleaner.
キーワード
Rotating disk
Flow stability
Large-scale structure
PIV
LES
発行日
2015
出版物タイトル
日本機械学会論文集
81巻
829号
出版者
日本機械学会
開始ページ
15-00273
ISSN
00290270
NCID
AN00187419
資料タイプ
学術雑誌論文
言語
Japanese
OAI-PMH Set
岡山大学
著作権者
© 2015 The Japan Society of Mechanical Engineers
論文のバージョン
author
DOI
関連URL
isVersionOf https://doi.org/10.1299/transjsme.15-00273