| タイトル（別表記） | Periodical structure of vortices in a semiconductor single wafer spin cleaner |
|---|---|
| フルテキストURL | TransJSME_81_829_2015.pdf |
| 著者 | 河内 俊憲| 福田 修也| 中野 裕介| 清水 義也| 永田 靖典| 柳瀬 眞一郎| |
| キーワード | Rotating disk Flow stability Large-scale structure PIV LES |
| 発行日 | 2015 |
| 出版物タイトル | 日本機械学会論文集 |
| 巻 | 81巻 |
| 号 | 829号 |
| 出版者 | 日本機械学会 |
| 開始ページ | 15-00273 |
| ISSN | 00290270 |
| NCID | AN00187419 |
| 資料タイプ | 学術雑誌論文 |
| 言語 | Japanese |
| OAI-PMH Set | 岡山大学 |
| 著作権者 | © 2015 The Japan Society of Mechanical Engineers |
| 論文のバージョン | author |
| DOI | 10.1299/transjsme.15-00273 |
| 関連URL | isVersionOf https://doi.org/10.1299/transjsme.15-00273 |
| タイトル（別表記） | Large-scale vortical structure detection using microphone array in a semiconductor single wafer spin cleaner |
|---|---|
| フルテキストURL | TransJSME_83_845_2017.pdf |
| 著者 | 河内 俊憲| 三好 勇輝| 中野 裕介| 永田 靖典| 柳瀬 眞一郎| |
| キーワード | Rotating disk Flow stability Coherent structure Differential pressure measurement |
| 発行日 | 2017 |
| 出版物タイトル | 日本機械学会論文集 |
| 巻 | 83巻 |
| 号 | 845号 |
| 出版者 | 日本機械学会 |
| 開始ページ | 16-00441 |
| ISSN | 00290270 |
| NCID | AN00187419 |
| 資料タイプ | 学術雑誌論文 |
| 言語 | Japanese |
| OAI-PMH Set | 岡山大学 |
| 著作権者 | © 2016 The Japan Society of Mechanical Engineers |
| 論文のバージョン | author |
| NAID | 130005303917 |
| DOI | 10.1299/transjsme.16-00441 |
| 関連URL | isVersionOf https://doi.org/10.1299/transjsme.16-00441 |
| タイトル（別表記） | OpenFOAM analysis of air-entraining and submerged vortices in pump sump |
|---|---|
| フルテキストURL | TransJSME_83_853_2017.pdf |
| 著者 | 山崎 諒| 河内 俊憲| 永田 靖典| 柳瀬 眞一郎| |
| キーワード | CFD VOF Turbulance model Grid convergence Vortex detection scheme |
| 発行日 | 2017 |
| 出版物タイトル | 日本機械学会論文集 |
| 巻 | 83巻 |
| 号 | 853号 |
| 出版者 | 日本機械学会 |
| 開始ページ | 17-00181 |
| ISSN | 00290270 |
| NCID | AN00187419 |
| 資料タイプ | 学術雑誌論文 |
| 言語 | English |
| OAI-PMH Set | 岡山大学 |
| 著作権者 | © 2017 The Japan Society of Mechanical Engineers |
| 論文のバージョン | author |
| DOI | 10.1299/transjsme.17-00181 |
| 関連URL | isVersionOf https://doi.org/10.1299/transjsme.17-00181 |